- SU-8光刻膠模具構(gòu):在硅片上只涂覆一層光刻膠,曝光一次完成;????圖為:單層SU-8光刻膠模具局部結(jié)構(gòu)放大圖?多層結(jié)構(gòu):在硅片上多次涂覆光刻膠,多次曝光,可制作具備...2026-03-03 18:15:54
- 光刻膠模具加工工藝1.光刻膠模具加工工藝流程將設(shè)計好的芯片結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到掩版上經(jīng)過負性光刻膠光刻到硅陽模。2.光刻膠模具使用的儀器及耗材儀器設(shè)備有:勻膠機、烘膠臺、紫外光刻機、...2017-10-09 17:14:32
- 光刻加工根據(jù)自己的需求設(shè)計微流控芯片或委托微流控芯片設(shè)計與加工。汶顥目前可提供光刻膠模具(深寬比一般為1:1~3:1)、純硅模具(深寬比一般為10:1~15:...2026-03-03 18:15:54
- 掩膜版、模具與微流控芯片及其制作方法與用途具。顯影液:用于顯影光刻膠。刻蝕液:用于刻蝕玻璃基片。脫模液:用于去除光刻膠模具。光刻機:用于光刻膠的曝光和顯影。刻蝕機:用于刻蝕玻璃基片。掩膜版在微...2025-12-18 12:40:31
- 用于絲狀真菌抗真菌分析的液滴微流控平臺(下),并由CAD/Art打印在光掩模上。在硅晶圓上制備SU8-2050負性光刻膠模具,通過紫外線照射和隨后的顯影(SU-8顯影液)。將固化劑添加到PDMS...2024-05-16 11:26:02
- 一種細胞培養(yǎng)微芯片的制作及應(yīng)用芯片制作的基本方法是先通過微加工技術(shù)在硅片表面制作出雙層的SU-8負性光刻膠模具,然后通過模塑方法形成具有微結(jié)構(gòu)的PDMS基片,最后與玻璃鍵合形成封閉...2019-03-01 10:26:37
- 用于藥物篩選的微流控細胞陣列芯片控陣列芯片在細胞藥物研究中的關(guān)鍵技術(shù)。本研究介紹了一種利用SU-8負性光刻膠模具和PDMS制作雙層結(jié)構(gòu)的微流控細胞陣列芯片的方法,該芯片通過C型的壩結(jié)...2018-12-04 09:53:29
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