1.光刻膠模具加工工藝流程

將設(shè)計(jì)好的芯片結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到掩版上經(jīng)過負(fù)性光刻膠光刻到硅陽模。

2.光刻膠模具使用的儀器及耗材

儀器設(shè)備有：勻膠機(jī)、烘膠臺(tái)、紫外光刻機(jī)、數(shù)顯恒溫電熱板等。

耗材有：?jiǎn)尉Ч杵⒀谀ぁ⒐饪棠z、顯影液

3.光刻膠模具制作流程

①CAD微流控芯片設(shè)計(jì)圖

②菲林

③鉻版

④光刻膠（SU-8光刻膠）

⑤顯影液（SU-8顯影液）

⑥光刻膠模具

3.光刻膠模具的說明

3.1 光刻膠分類：正膠、負(fù)膠。

正負(fù)光刻膠特點(diǎn)：

正膠—遇光分解；負(fù)膠—遇光聚合。

我們常用的光刻膠是SU-8光刻膠是負(fù)膠、瑞紅光刻膠為正膠。

3.2常加工的光刻膠模具尺寸：4”（10㎝直徑）

3.3可加工2層、3層高度（層數(shù)越多難度越大）

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