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WH-PXY-01 噴淋式顯影機 -
WH-PXY-01 噴淋式顯影機
- 型號WH-PXY-01
- 模式臺式自動噴淋顯影機
WH-PXY-01型顯影機是一種小型的實驗室用自動噴淋顯影機，適配7英寸以內（含7英寸）基材，液量范圍10-500ml,最大轉速400RPM，最大顯影時間900s
產品簡介
噴淋式顯影機（WH-PXY-01）是汶顥股份自主開發的具有獨立知識產權的一款產品，針對光刻工藝中的顯影過程而設計開發的，可以對7英寸以下（含7英寸）規格的硅片進行程控式自動化顯影。該設備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環節，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規格硅片間隔顯影效果不可控，最大程度上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。
技術參數
2轉速：0～400RPM；
2液量控制：10～500mL；
2適配硅片/芯片：≤7英寸；
2顯影時間：0～900s；
2進液速度：0～100%；
2電源輸入：AC220V±10V/50HZ；
2功率：100W；
2重量：20 kg；
2外形尺寸：410（W）* 410（D）* 350（H）mm；
2工作環境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %；
特征圖解
特征圖解1
特征圖解2
裝箱清單
名稱 | 單位 | 數量 |
噴淋式顯影機機體 | 臺 | 1 |
液體瓶 | 件 | 1 |
廢液瓶 | 件 | 1 |
吸附盤3寸（適用4、5、6寸硅片） | 件 | 1 |
吸附盤1寸、2寸、6寸 | 件 | 選配 |
無油真空泵 | 臺 | 1 |
?6氣管 | 米 | 3 |
電源線 | 根 | 1 |
使用手冊 | 件 | 1 |
質檢報告 | 件 | 1 |
合格證 | 件 | 1 |
保修卡 | 件 | 1 |
備注：如需了解產品價格及其他技術內容可咨詢我司客服！
