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WH-XQY-01 自動(dòng)噴淋顯影清洗一體機(jī) -
WH-XQY-01 自動(dòng)噴淋顯影清洗一體機(jī)
- 型號(hào)WH-XQY-01
- 模式自動(dòng)噴淋顯影清洗設(shè)備
WH-XQY-01 臺(tái)式自動(dòng)噴淋顯影設(shè)備可以對7英寸及以下基片進(jìn)行程控式自動(dòng)化顯影與清洗，最大轉(zhuǎn)速400RPM，最大液量500ml......
1. 產(chǎn)品簡介
顯影清洗一體機(jī)（WH-XQY-01）是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品，針對光刻工藝中的顯影與清洗過程而設(shè)計(jì)開發(fā)的，可以進(jìn)行程控式自動(dòng)化顯影與清洗。該設(shè)備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動(dòng)顯影與清洗環(huán)節(jié)，克服了手動(dòng)顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時(shí)間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控等缺點(diǎn)，最大程度上減少操作人員人為因素導(dǎo)致的顯影質(zhì)量問題以及硅片的損壞。
2. 技術(shù)參數(shù)
轉(zhuǎn)速：0～3000 rpm
顯影液量控制：10～450 mL
清洗時(shí)間控制：0～999 s
適配硅片/芯片：≤7英寸
顯影時(shí)間控制：1～900 s
進(jìn)液速度： 30～100%
電源輸入：AC220V±10V/50HZ
功率：250W
重量：20 kg
外形尺寸：510（W）* 450（D）* 350（H）mm
工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %
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3. 特征圖解
4.裝箱清單
名稱 | 單位 | 數(shù)量 |
顯影清洗一體機(jī)機(jī)體 | 臺(tái) | 1 |
液體瓶 | 件 | 2 |
廢液瓶 | 件 | 1 |
無油真空泵 | 臺(tái) | 1 |
吸附盤3寸（適用4、5、6寸硅片） | 件 | 1 |
吸附盤1寸、2寸、6寸 | 件 | 選配 |
?6氣管 | 米 | 3 |
電源線 | 根 | 1 |
使用手冊 | 件 | 1 |
質(zhì)檢報(bào)告 | 件 | 1 |
合格證 | 件 | 1 |
保修卡 | 件 | 1 |
4.噴淋顯影清洗一體機(jī)使用視頻教程
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