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WH-HP-01 烘膠臺 -
WH-HP-01 烘膠臺
- 型號WH-HP-01 烘膠設備/光刻熱板
- 模式烘膠、烤膠
WH-HP-01型烘膠臺（烤膠機、熱板）采用PID控溫系統觸摸屏控制溫度可達300℃，控溫精度±1℃，溫度均勻性：＜±3%，適用基片尺寸直徑200mm
1.烘膠臺/烤膠機產品簡介
WH-HP-01烘膠臺是蘇州汶顥微流控技術股份有限公司獨立開發，具有獨立知識產權，可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘。該設備采用PID控溫系統自動測溫控溫，并具有兩段式自動升溫、烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點，可長時間持續穩定工作。
WH-HP-01是一款緊湊且易于使用的光刻熱板。它用于光刻工藝的預烘烤，后烘烤和硬烘烤。該產品具有較高的烘烤速度，均勻性，較高的溫度控制精度和高度可重復的實驗結果。烘烤控制設計用于預烘烤，后烘烤和硬烘烤，以進行光蝕刻過程。
WH-HP-01熱板與KW-4A旋涂機或WH-SC-01旋涂機一起使用，是在硅片或其他基板上制造金屬氧化物薄膜、聚合物涂層和金屬有機薄膜的理想工具。與傳統烤箱相比，使用加熱板固化薄膜將減少烘烤時間，提高可重復性，并獲得更均勻和更好的薄膜質量。這是因為WH-HP-01在整個基材上具有均勻的溫度曲線，并為薄膜和涂層提供均勻的加熱。因為薄膜/涂層是從下往上加熱的，所以可以避免皮膚效應。
烤膠機（英文名：Hot Plate）又名烘膠臺，烤膠臺，加熱平臺，烤膠板，熱臺，熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘，暴光后烘，顯影后的堅膜，磨片粘片熔臘等。產品采用整體鑄造，加熱板作為加熱體，增強了設備的安全性。采用單片機作為控制核心部件，有極高精準的控溫精度，緊湊美觀。該設備對一些溫度敏感材料（如晶體、半導體、陶瓷等）進行加熱和裝卡尤為適用。該設備結構簡單，操作簡便，安全可靠，是從事半導體熱處理、材料研究生產、溫度干燥試驗等必不可少的工具。
2.烘膠臺/烤膠機技術參數
  | 正常溫度：室溫-300℃ |
| 極限溫度：350℃ | |
| 持續烘膠時間：15min以內為宜 | |
| 控溫精度：±1℃ | |
| 溫度均勻性：＜±3% | |
| 烘膠板規格：φ200 | |
| 參數設定：觸摸屏設置參數 | |
| 控溫形式：PID控溫系統 | |
| 電源輸入：AC220V±10V,50HZ | |
| 功率：1000W | |
| 重量：16kg | |
| 外形尺寸：365*280*156mm |
3.烘膠臺/烤膠機特征圖解
①觀察窗 ②蓋板 ③烘膠板 ④觸摸屏 ⑤電源插孔 ⑥通風孔
烘膠臺溫度測試數據表：
設定溫度(℃) | 1 | 2 | 3 | ||||||||||||
顯示溫度(℃) | 實際溫度(℃) | 溫度均一性% | 顯示溫度(℃) | 實際溫度(℃) | 溫度均一性% | 顯示溫度(℃) | 實際溫度(℃) | 溫度均一性% | |||||||
中心 | 偏中心 | 邊緣 | 中心 | 偏中心 | 邊緣 | 中心 | 偏中心 | 邊緣 | |||||||
65 | 64.7~65.9 | 65 | 66 | 67 | 2.99% | 64.4~65.5 | 68 | 68 | 69 | 4.35% | 64.8~65.9 | 68 | 67 | 69 | 2.90% |
95 | 94.7~96 | 95 | 96 | 97 | 2.06% | 94.3~96.1 | 96 | 96 | 98 | 2.04% | 94.6~96.3 | 96 | 96 | 96 | 0.00% |
120 | 119.7~121 | 120 | 121 | 123 | 2.44% | 119.6~121.4 | 121 | 121 | 121 | 0.00% | 119.4~121.8 | 120 | 119 | 117 | 2.50% |
150 | 149.1~151.5 | 149 | 151 | 152 | 1.97% | 149.3~151.5 | 150 | 150 | 152 | 1.32% | 149.2~151.7 | 150 | 148 | 148 | 1.33% |
200 | 198.9~201.1 | 198 | 201 | 202 | 1.98% | 199.1~201.2 | 196 | 198 | 200 | 2.00% | 199.3~201.9 | 201 | 196 | 197 | 1.99% |
250 | 248.2~250.9 | 251 | 254 | 255 | 1.57% | 248.8~250.8 | 251 | 252 | 254 | 1.18% | 248.5~251.5 | 253 | 249 | 250 | 2.80% |
280 | 278.6~280.6 | 282 | 284 | 287 | 1.74% | 278.2~280.9 | 282 | 285 | 286 | 1.40% | 278.4~281 | 287 | 281 | 283 | 1.39% |
測試結論 | 控溫精度<±2℃，溫度準確性(偏中心點)范圍在±5℃，溫度均一性＜5%。 | ||||||||||||||
裝箱清單：
名稱 | 單位 | 數量 |
烘膠臺機體 | 臺 | 1 |
電源線 | 份 | 1 |
使用手冊 | 份 | 1 |
質檢報告 | 份 | 1 |
合格證 | 份 | 1 |
保修卡 | 份 | 1 |
烘膠臺視頻指導
注：清點包裝箱內的附件和印刷資料，箱內的附件和資料請按照裝箱清單對照檢查。
更多烘膠臺/烤膠機使用說明及安全注意事項請下載本產品使用手冊！
標簽: 烘膠臺
- 上一條沒有了
- 下一條多溫區烘膠臺（WH-HP-03）
