1. 產品簡介

WH-HP-03多溫區烘膠臺是汶顥股份自主開發，具有獨立知識產權，可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘，并具有分段式程控升溫。該設備采用PID控溫系統自動測溫控溫，升溫速度快、溫度均勻、控溫精度高等特點，可長時間持續穩定工作。此儀器最大特點是具有3個溫控區域，可分別設定與調整不同的溫度，可同時/單獨工作，克服了一個溫控區域必須來回切換升溫/降溫的缺點。

2. 技術參數

2 烘膠溫度：室溫～300℃

2 持續烘膠時間：～15min以內為宜

2 控溫精度：±1℃

2 溫度均勻性：＜±5%

2 烘膠板規格：φ130mm

2 參數設定：觸摸屏設置參數

2 控溫形式：PID控溫系統

2 電源輸入：AC220V±10V/50HZ

2 功率：1.5 KW

2 重量：21kg

2 外形尺寸：480（W）*580（D）*200（H）mm

3. 特征圖解

特征圖解1

特征圖解2

4. 操作說明

（1）開機：接通電源，打開背面電源開關，觸摸屏點亮，進入溫度顯示界面，多溫區烘膠臺進入待機狀態。

（2）設定溫度：點擊觸摸屏的“參數設定”進入參數設置界面，分別設置第一階段和第二階段前烘膠臺、左烘膠臺、右烘膠臺的溫度和保持時間。

（3）啟動運行：點擊參數設定界面的“確定”鍵，切換到主頁面，點擊觸摸屏的“啟動”鍵，儀器切換到“啟動”鍵進入加熱狀態。

（4）停止加熱：點擊觸摸屏的“停止”鍵，儀器切換到“停止”鍵，風扇開始運作，多溫區烘膠臺停止加熱，進入降溫狀態。

（5）冷卻關機：烘膠結束后，烘膠板還在高溫狀態，此時應繼續保持通電一段時間，以便多溫區烘膠臺降溫冷卻，避免因關機時溫度過高造成儀器內部損壞和使用人員燙傷，當溫度降至50℃以下時關閉電源開關，并拔掉電源插頭。

5. 安全注意事項

拆開包裝后，請按照裝箱清單詳細檢查配件，如有缺失，請聯系銷售代表。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發或受到其它外界因素的影響引起火災。

操作前請詳細閱讀本說明全部內容，并嚴格按照要求依次進行操作。若用戶因不規范操作或違規操作而導致的人身傷害事故、儀器損害、財產損失，廠家將不予承擔任何責任。

警告：

安置本儀器的桌（臺）面應堅實平整，四只橡膠腳墊應與桌（臺）面平穩接觸，否則會產生儀器不平穩，影響硅片烘膠效果。

儀器工作時，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內逗留，以免高溫燙傷。

放置硅片和拿取硅片時，請利用鑷子等工具，以免燙傷。

儀器出現故障應及時切斷電源，并與銷售代表聯系，切勿自行打開機殼。

嚴禁非專業人員維修，維修時必須先拔下電源插頭，防止事故發生。