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'關鍵字: 超凈間'
- 低成本微流控芯片的加工與鍵合方法(下)是同類、同厚度材料,特殊用途時也可對不同類型和厚度的材料進行鍵合。不同于超凈間內使用精密儀器設備完成的硅、玻璃芯片間的鍵合,近年來,研究者提出了各類低...2024-07-23 09:39:21
- 低成本聚合物微流控芯片加工技術ip)。初期的微流控芯片加工技術完全繼承自MEMS加工技術,步驟都需要在超凈間內使用精密微加工設備完成,芯片的設計加工成本非常高昂,嚴重阻礙了其在分析...2024-07-16 09:53:20
- 微流控芯片制作的環(huán)境要求超凈間:超凈間(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。「超凈間」是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內的溫...2023-03-01 09:23:43
- 低成本微流控芯片鍵合技術是同類、同厚度材料,特殊用途時也可對不同類型和厚度的材料進行鍵合。不同于超凈間內使用精密儀器設備完成的硅、玻璃芯片間的鍵合,近年來,研究者提出了各類低...2022-09-01 08:51:17
- PDMS-玻璃鍵合芯片完整工藝烘、曝光、后烘、顯影和堅膜,主要的工藝流程如圖 2 所示。本文的陽膜是在超凈間內制作完成,其中所用的主要設備是勻膠機,曝光機 ,以及可編程熱板 PHP...2022-03-31 14:37:35
- 3D打印與“芯片上的實驗室”芯片的表面微加工、軟印、壓印 、注射成型、激光燒蝕等。這些加工過程需要在超凈間內完成,并且工序復雜,所需空間也大,對設計與加工人員的經驗依賴度高。與半...2017-11-28 15:28:48
- 微流控芯片制作的環(huán)境要求微流控芯片制作主要在超凈間(Clean Room)內完成。超凈間亦稱無塵室,是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害成分、細菌等污染物排除,并對室內溫度、照明、壓力、氣流...2016-12-08 17:34:23
- 潔凈室的構成以及等級劃分標準爐區(qū)、等離子區(qū)、測試區(qū)等要求達到千級等級;光刻、勻膠、顯影工藝要求在百級超凈間進行。微流控芯片加工實驗室通常要求在潔凈環(huán)境中,汶顥科技根據(jù)加工精度和客...2016-11-07 08:48:09
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