微流控芯片制作主要在超凈間(Clean Room)內(nèi)完成。超凈間亦稱無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害成分、細(xì)菌等污染物排除，并對室內(nèi)溫度、照明、壓力、氣流分布、靜電等控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計(jì)的房間。

超凈間除塵原理

芯片制作主要在超凈間(Clean Room)內(nèi)完成。超凈間亦稱無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害成分、細(xì)菌等污染物排除，并對室內(nèi)溫度、照明、壓力、氣流分布、靜電等控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計(jì)的房間。

超凈間等級

超凈間的等級主要依照每立方英尺內(nèi)大于等于0.5?m顆粒的數(shù)量來區(qū)分。