• 微流控光刻技術的微粒子研究現狀及應用進展摘要近年來，微粒因其獨特的形狀、復雜的結構以及將各種功能整合到單個實體中的能力而引起了廣泛的關注。它們已被證明在生物分析和診斷、組織工程、防偽、機械工...2023-11-02 11:23:23
• PDMS在生物研究中的應用--生物研究領域PDMS光刻技術綜述PDMS在生物學研究中的應用PDMS在生物學研究中，更確切地說，PDMS的生物相容性是當今生物學研究許多領域中的一個重要參數，因為微流體和微流控芯片是...2022-12-08 11:10:50
• 光刻技術種類及光刻膠的分類溶解就可以清除，從而增加了模板的使用壽命，降低了生產成本。 3 ?紫外光刻技術及相應的光刻膠 紫外光刻技術作為復制微型圖形的一種圖形轉移技術，是制備...2021-12-30 15:50:44
• 光刻技術圖形轉移工藝三：芯片刻蝕光刻和刻蝕是兩個不同的加工工藝，但因為這兩個工藝只有連續進行，才能完成真正意義上的圖形轉移，而且在工藝線上，這兩個工藝經常是放在同一工序，因此，有時也...2018-06-07 08:49:02
• 光刻技術圖形轉移工藝二：光刻材料及設備1.光刻膠正膠負膠光刻膠也稱為光致抗蝕劑，是一種光敏材料，它受到光照后特性會發生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉移到晶圓片上。????光刻膠...2018-06-07 08:41:19
• 光刻技術圖形轉移工藝一：照相技術的啟發不管是氧化、淀積還是擴散、離子注入，這些單項工藝本身對硅晶圓片各個不同的位置沒有任何選擇性，它們都是對整個硅晶圓片進行處理，不涉及任何圖形。集成電路是...2018-06-01 11:17:53
• 軟光刻技術：SU-8涂層機等）、烘膠臺、SU-8系列光刻膠及顯影液產品和相關技術輸出服務。在軟光刻技術中，通常用SU-8模具復制PDMS微流體結構芯片。為了制造這種SU-8...2018-03-16 09:26:49
• 光刻技術的基本原理上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“復制”到硅片上的過程。光刻技術的基本原理：?1、涂膠目前涂膠的主要方法有：甩膠、噴膠和氣相沉積 ，但...2016-10-10 10:13:26
• 光刻技術? ? ? 光刻技術是指在光照作用下，借助光致抗蝕劑（又稱光刻膠）將掩膜版上的圖形轉移到基片上的技術。其主要過程為：首先紫外光通過掩膜版照射到附有一層光刻膠薄膜...2016-04-05 11:54:05
• SU-8光刻膠模具用到模具，尤其是在PDMS芯片加工的過程中。PDMS芯片加工通常采用軟光刻技術來制作。為了執行PDMS軟光刻技術的加工過程，通常需要用到模板，最常規...2026-03-03 20:38:38