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微閥測(cè)試實(shí)驗(yàn)裝置

       以去離子水為工作介質(zhì),主要測(cè)試了微閥在不同結(jié)構(gòu)尺寸和流體壓力下微閥的正/反向流量特性,為優(yōu)化和提高微閥的工作性能提供實(shí)驗(yàn)依據(jù)。

 

 

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