久久国产精品日本波多野结衣-免费观看又色又爽又黄的韩国-在线播放亚洲第一字幕-日本japanese丰满少妇-色99久久久久高潮综合影院

首頁 > 技術資訊 > 行業咨訊

光刻膠的涂敷和顯影

光刻膠也稱為光致抗蝕劑。凡是在能量束(光束、電子束、離子束等)的照射下,以交聯反應為主的光刻膠稱負性光刻膠,簡稱負膠。

凡是在能量束(光束、電子束、離子束等)的照射下,以降解反應為主的光刻膠稱為正性光刻膠,簡稱正膠。

光刻膠

對于光刻膠的涂敷和顯影,已下詳細為大家講解:

1、脫水烘烤

目的是去除硅片表面吸附的水分。

2、增粘處理

在烘烤后的硅片表面涂一層六甲基二硅亞胺,目的是增加硅片表面與光刻膠的粘附性。可采用蒸汽涂布法,也可采用旋涂法。

3、涂膠

    一般采用旋涂法。涂膠的關鍵是控制膠膜的厚度與膜后的均勻性。膠膜的厚度決定于膠的粘度和旋轉速度。

    4、前烘(軟烘)

    目的是去除膠中的大部分溶劑和穩定膠的感光特性。

    5、曝光

    6、顯影

    將曝光后的硅片放到顯影液中。對于負膠,通過顯影溶膠掉未曝光區的膠膜;對于正膠,通過顯影溶解掉曝光區的膠膜。幾乎所有的正膠都使用堿性顯影液。

顯影過程中膠膜會發生膨脹。正膠的膨脹可以忽略,而負膠的膨脹則可能使圖形尺寸發生變化。

顯影過程對溫度非常敏感。顯影過程可影響較的對比度,從而影響膠的剖面形狀。

7、后烘(硬烘、堅膜)

目的是使膠膜硬化,提高其在后續工序中的掩蔽性。

8、刻蝕

9、去膠



標簽:   光刻膠 顯影
主站蜘蛛池模板: 亚洲 卡通 欧美 制服 中文| 免费情侣作爱视频| 国产成人夜色高潮福利app| 国产在线观看无码不卡| 888亚洲欧美国产va在线播放| 国产精品人妻系列21p| 爱久久av一区二区三区| 熟妇人妻系列av无码一区二区| 免费无码又爽又刺激激情视频| 亚洲精品国产suv| 国产精品尹人在线观看| 亚洲毛片无码专区亚洲a片| 亚洲中文精品久久久久久不卡| 国产亚洲精品精华液| 香蕉久久久久久久av网站| 强伦人妻一区二区三区视频18| 日本边添边摸边做边爱喷水| 国产综合有码无码中文字幕| 日韩av片无码一区二区不卡| 无码手机线免费观看| 无码av中文字幕久久专区| 一本久道久久综合婷婷五月| www无套内射高清免费| 狠狠噜天天噜日日噜视频麻豆| 18水蜜桃?大黄瓜勒| 亚洲国产精品成人影片久久| 丰满人妻跪趴高撅肥臀| 狠狠噜天天噜日日噜色综合| 一个人在线观看免费视频www| 一区二区三区在线 | 网站| 无码av免费永久免费永久专区| 熟妇人妻无码xxx视频| 在厨房拨开内裤进入在线视频| 亚洲精品人成网线在播放va| 亚洲第一区欧美国产综合| 国产在线视频一区二区三区98| 丰满少妇被猛烈进入av久久| 久久久久中文伊人久久久| 欧美丰满老熟妇xxxxx性| 无码中文av波多野结衣一区| 乱成熟女人在线视频|