基于SU-8光刻膠的PDMS倒模加工技術(shù)。通過使用傳統(tǒng)的光刻方法，以SU-8光刻膠作為模具，可以制作基于PDMS材質(zhì)的微流控芯片。特點(diǎn)是加工精度高，通道深寬比大，采用實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有設(shè)備，最小通道尺寸可以達(dá)到10?m。典型加工時(shí)間3小時(shí)左右（SU-8膠光刻、沖洗，PDMS倒模、等離子表面處理、鍵合）。

基于SU-8光刻膠的PDMS倒模加工技術(shù)(PDMS-玻璃)

SU-8硅片模具--加工在4寸硅片上的SU-8模具（用于生物檢測(cè)的單向閥系統(tǒng)）

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