一、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介

WH-SC-01勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計(jì)由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司獨(dú)立開(kāi)發(fā)完成，具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

勻膠機(jī)快速啟動(dòng)和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)；實(shí)現(xiàn)啟停可控，轉(zhuǎn)速實(shí)時(shí)觀察等功能。儀器配置“安全開(kāi)關(guān)”按鈕，當(dāng)進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，關(guān)上上蓋后，“安全開(kāi)關(guān)”啟動(dòng)，運(yùn)行過(guò)程中，上蓋不能打開(kāi)。可以起到保護(hù)作用。

汶顥股份勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。勻膠機(jī)通常配無(wú)油真空泵一起使用。

勻膠機(jī)是一種常見(jiàn)用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，它的原理相對(duì)比較簡(jiǎn)單，利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。

勻膠機(jī)英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂?jī)x、旋涂機(jī)、甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。

勻膠機(jī)既然是科研開(kāi)發(fā)上制備薄膜材料必備的方法之一，使用者對(duì)于該設(shè)備最大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會(huì)用均一性和可重復(fù)性來(lái)衡量薄膜材料制備的好壞。

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二、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x技術(shù)參數(shù)

1.轉(zhuǎn)速：硅片4英寸（含）以內(nèi)300-8500RPM；4-6英寸（含）以內(nèi)300-6000RPM；

2.時(shí)間控制：1-32767s；

3.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%；

4.膠的均勻性：±3%；

5.參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)；

6.適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠；

7.電源輸入：AC220V±10V，50HZ；

8.功率：60W；

9.重量：13kg；

10.外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）；

11.工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對(duì)濕度＜80 %。

12.標(biāo)配4英寸吸盤(pán)，可選直徑8mm、1英寸、2英寸、3英寸、5英寸、6英寸吸附托盤(pán)。

三、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解

①防撞墊②勻膠托盤(pán)③觸摸屏④專用吸附盤(pán)⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開(kāi)關(guān)

四、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x操作說(shuō)明

（1）選擇合適的專用吸附盤(pán)（略小于樣本尺寸），將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘安裝，吸附盤(pán)安裝時(shí)一定要插入到底。

（2）開(kāi)啟電源，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁(yè)面。可分別設(shè)置三個(gè)階段轉(zhuǎn)速和時(shí)間，按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時(shí)間，點(diǎn)擊“確定”。

（3）進(jìn)入啟動(dòng)儀器界面，放片，要注意放正。打開(kāi)真空泵，點(diǎn)擊“吸盤(pán)”后點(diǎn)“啟動(dòng)”，儀器開(kāi)始運(yùn)行。轉(zhuǎn)速和運(yùn)行階段以及當(dāng)前階段剩余時(shí)間可在顯示屏上實(shí)時(shí)觀察。

（4）滴膠，動(dòng)作要快。在第一階段運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間內(nèi)滴膠完畢，關(guān)上上蓋；隨時(shí)間推移自動(dòng)運(yùn)行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后，安全開(kāi)關(guān)啟動(dòng)，必須等到儀器停止運(yùn)行，上蓋才能被打開(kāi)。

（5）電機(jī)停轉(zhuǎn)后，點(diǎn)擊脫盤(pán)，吸片停止。打開(kāi)上蓋，取下片子。

（6）繼續(xù)勻膠時(shí)重復(fù)以上步驟。

（8）勻膠結(jié)束后，關(guān)上上蓋，切斷電源。

五、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x維護(hù)清洗

屬下列情況之一時(shí)，需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清洗

1.正常使用半個(gè)月的；

2.膠被吸入抽氣室的；

3.電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。

六、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x常見(jiàn)故障排除

下列故障非本機(jī)故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請(qǐng)及時(shí)撥打本公司服務(wù)熱線：0512-62525801，本公司將竭誠(chéng)為廣大用戶服務(wù)。

七、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x安全注意事項(xiàng)

拆開(kāi)包裝后，請(qǐng)按照裝箱單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請(qǐng)聯(lián)系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。

操作前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說(shuō)明全部?jī)?nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財(cái)產(chǎn)損失，制造商將不予承擔(dān)。

(1) 安置本儀器的桌（臺(tái)）面應(yīng)堅(jiān)實(shí)平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺(tái)）面平穩(wěn)接觸，否則會(huì)產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，從而導(dǎo)致超標(biāo)準(zhǔn)的震動(dòng)，致使器件損傷或儀器停止運(yùn)行。

(2) 儀器工作時(shí)，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留，勻膠機(jī)周圍不得放置危險(xiǎn)物品。

(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤(pán)有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤(pán)甩小的樣片就會(huì)產(chǎn)生漏氣，同時(shí)造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞。

(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤(pán)、光電盤(pán)、電機(jī)軸會(huì)黏在一起，造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng)，拆卸亦很困難。

(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動(dòng)電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。

(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時(shí)與銷售商或廠家聯(lián)系，切勿自行打開(kāi)機(jī)殼。嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修，維修時(shí)必須先拔下電源插頭，防止事故發(fā)生。

國(guó)產(chǎn)臺(tái)式旋涂機(jī)/勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速準(zhǔn)確性測(cè)試數(shù)據(jù)表：

八、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x裝箱清單

無(wú)油真空泵技術(shù)參數(shù)無(wú)油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內(nèi)沒(méi)有任何介質(zhì)，可以原汁原味的回收氣體。

? 型號(hào)：AP-550V 

? 抽速：1.5 升/秒 

? 功率：320W 

? 噪音：58db 

? 電壓、頻率：~220V/50HZ 

? 最低真空度：-700mmHg 

? 重量：5.8kg 

? 外形尺寸：240×130×200mm

九、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x視頻指導(dǎo)