產(chǎn)品名稱(chēng)：

中國(guó)光電URE-2000/35型光刻機(jī)

技術(shù)特征：

◆適合工廠（效率高，操作傻瓜型，全自動(dòng)）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）
◆采用三爪找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能

◆自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，采用350W進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度

◆設(shè)備外形美觀精制，性能非常可靠，自動(dòng)化程度很高，操作十分方便。
技術(shù)參數(shù)：
◆曝光面積：100mm×100mm（可升級(jí)150mm×150mm）
◆分辨力：1μm（膠厚2 μm的正膠）
◆ 對(duì)準(zhǔn)精度：±1μmm
◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
◆ 樣片尺寸
◆直徑f15mm-- f100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)
 ◆厚度0.1mm--6mm

◆照明均勻性： ±4%（ 100mm×100mm 范圍）
◆掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程： X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6?
◆汞燈功率：350W（直流）
◆ 曝光波長(zhǎng)：365nm
◆曝光能量密度：>15mW/cm 
◆曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s—999.9s）
◆外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）?900mm(寬) ?1600mm（高）
配置：
（1）曝光頭
◆冷光橢球鏡
◆350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風(fēng)扇
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
◆掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動(dòng)完成
◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動(dòng)調(diào)
◆承片臺(tái)4個(gè)：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用戶要求增減）
◆掩模夾4個(gè)：3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）
◆掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
◆光源（配備品2只）、 電源
◆雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
◆目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
◆物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
◆CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，21寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
◆汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
◆單片機(jī)控制系統(tǒng)
◆控制柜桌 
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等
◆電磁閥驅(qū)動(dòng)
◆氣動(dòng)儀表 
（6）其他附件
◆真空泵一臺(tái)
◆空壓機(jī)一臺(tái)
◆管道
（7）技術(shù)資料
◆使用維修說(shuō)明書(shū)
◆顯微鏡使用說(shuō)明書(shū)