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'關鍵字: 電化學刻蝕'
- 基于電化學刻蝕與微電鑄工藝具在微電鑄工藝中鑄層與基底結合力差的問題,在光刻工藝的基礎上,采用掩膜電化學刻蝕和微電鑄相結合的方法,制作出了結合力較好的鎳基雙十字微流控芯片模具。針...2017-10-10 08:38:48
- 微反應器的發展現狀,制造微通道可應用的微加工技術包括:精密機械加工、濕法刻蝕、干法刻蝕、電化學刻蝕、表面硅工藝技術、LIGA(光刻、電鑄成模和塑注成型)技術、電火花加工...2018-08-20 09:35:25
- 微電極的特點、分類、制備方法的設計制備是微電極電化學發展應用的關鍵,目前涌現出的制備微電極的技術有電化學刻蝕法、電沉積法、自組裝技術、化學鍍層技術等,這些制備方法為快速制備微電極...2018-06-21 11:36:26
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