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高深寬比光敏玻璃
- 型號
該光敏玻璃采用連熔法生產,具有先進的光敏性、均質性。該玻璃一款技術光敏玻璃。該光敏玻璃經過紫外曝光以及熱處理后會析出晶體,這些析晶區域在酸腐蝕之后可以形成高深寬比的細小結構和通孔。再經過二次曝光和熱處理,玻璃基體可以發生相變形成玻璃陶瓷,以此增強玻璃的機械性能。這些特性使光敏玻璃大量應用在微流控(Microfluidics)、無線射頻(RF)元件和微機電系統(MEMS)等領域。光明玻璃晶圓的標準供
該光敏玻璃采用連熔法生產,具有先進的光敏性、均質性。該玻璃一款技術光敏玻璃。該光敏玻璃經過紫外曝光以及熱處理后會析出晶體,這些析晶區域在酸腐蝕之后可以形成高深寬比的細小結構和通孔。再經過二次曝光和熱處理,玻璃基體可以發生相變形成玻璃陶瓷,以此增強玻璃的機械性能。這些特性使光敏玻璃大量應用在微流控(Microfluidics)、無線射頻(RF)元件和微機電系統(MEMS)等領域。
光明玻璃晶圓的標準供應尺寸包括直徑6英寸或8英寸的晶圓以200X200毫米方形基板,產品厚度則在0.5毫米—1毫米之間,另外可以根據客戶需求定制不同尺寸的玻璃片。
光敏玻璃具有一系列優異特性,例如
1、 大于10:1的深寬比;
2、 最小35微米直徑的通孔(0.5mm厚度的玻璃);
3、 最小45微米的間距;
4、大于30:1腐蝕速率(處理區和非處理區);
5、垂直度大于88度;
6、 加工區域粗糙度小于3微米;
7、高度質量均一性:先進的熔制工藝確保光敏性均一且具高度重現性;
8、無需光刻膠即可制作微結構;
9、極佳的透光特征(同時表現在可見區和非可見區);
10、生物兼容性:耐溫,化學穩定;
11、環境友好:符合EU-RoHS 和 EU-REACH規定;
12、光敏玻璃的切割和鍵合,基本可以沿用傳統的加工手段。
光敏玻璃不同尺寸的方孔加工結果
光敏玻璃不同尺寸的圓孔加工結果
采用光敏玻璃加工的復雜結構
光敏玻璃加工結構的表面粗糙度
可提供購買的型號
名稱 | 規格 | 厚度 | 名稱 | 規格 | 厚度 | |
光敏玻璃 | 直徑6英寸 | 0.5mm | 光敏玻璃 | 方形93*93mm | 1.0mm | |
光敏玻璃 | 直徑6英寸 | 0.7mm | 光敏玻璃 | 方形93*93mm | 1.3mm | |
光敏玻璃 | 直徑6英寸 | 1.0mm | 光敏玻璃 | 方形130*130mm | 0.5mm | |
光敏玻璃 | 直徑6英寸 | 1.3mm | 光敏玻璃 | 方形130*130mm | 0.7mm | |
光敏玻璃 | 直徑8英寸 | 0.5mm | 光敏玻璃 | 方形130*130mm | 1.0mm | |
光敏玻璃 | 直徑8英寸 | 0.7mm | 光敏玻璃 | 方形130*130mm | 1.3mm | |
光敏玻璃 | 直徑8英寸 | 1.0mm | 光敏玻璃 | 方形150*150mm | 0.5mm | |
光敏玻璃 | 直徑8英寸 | 1.3mm | 光敏玻璃 | 方形150*150mm | 0.7mm | |
光敏玻璃 | 直徑12英寸 | 0.5mm | 光敏玻璃 | 方形150*150mm | 1.0mm | |
光敏玻璃 | 直徑12英寸 | 0.7mm | 光敏玻璃 | 方形150*150mm | 1.3mm | |
光敏玻璃 | 直徑12英寸 | 1.0mm | 光敏玻璃 | 方形175*175mm | 0.5mm | |
光敏玻璃 | 直徑12英寸 | 1.3mm | 光敏玻璃 | 方形175*175mm | 0.7mm | |
光敏玻璃 | 方形93*93mm | 0.5mm | 光敏玻璃 | 方形175*175mm | 1.0mm | |
光敏玻璃 | 方形93*93mm | 0.7mm | 光敏玻璃 | 方形175*175mm | 1.3mm |
以上為標準尺寸,可以定做非標尺寸,厚度0.5/0.7/1.0/1.3,外型可定制。
標簽:   光敏玻璃 基片
- 上一條肖特鈉鈣玻璃B270
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