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SU8光刻膠
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    高深寬比光敏玻璃

    • 型號

    該光敏玻璃采用連熔法生產,具有先進的光敏性、均質性。該玻璃一款技術光敏玻璃。該光敏玻璃經過紫外曝光以及熱處理后會析出晶體,這些析晶區域在酸腐蝕之后可以形成高深寬比的細小結構和通孔。再經過二次曝光和熱處理,玻璃基體可以發生相變形成玻璃陶瓷,以此增強玻璃的機械性能。這些特性使光敏玻璃大量應用在微流控(Microfluidics)、無線射頻(RF)元件和微機電系統(MEMS)等領域。光明玻璃晶圓的標準供

    1. 詳細信息

    光敏玻璃采用連熔法生產,具有先進的光敏性、均質性。該玻璃一款技術光敏玻璃。該光敏玻璃經過紫外曝光以及熱處理后會析出晶體,這些析晶區域在酸腐蝕之后可以形成高深寬比的細小結構和通孔。再經過二次曝光和熱處理,玻璃基體可以發生相變形成玻璃陶瓷,以此增強玻璃的機械性能。這些特性使光敏玻璃大量應用在微流控(Microfluidics)、無線射頻(RF)元件和微機電系統(MEMS)等領域。

    光明玻璃晶圓的標準供應尺寸包括直徑6英寸或8英寸的晶圓以200X200毫米方形基板,產品厚度則在0.5毫米—1毫米之間,另外可以根據客戶需求定制不同尺寸的玻璃片。

    光敏玻璃具有一系列優異特性,例如

    1、 大于10:1的深寬比;

    2、 最小35微米直徑的通孔(0.5mm厚度的玻璃);

    3、 最小45微米的間距;

    4、大于30:1腐蝕速率(處理區和非處理區);

    5、垂直度大于88度;

    6、 加工區域粗糙度小于3微米;

    7、高度質量均一性:先進的熔制工藝確保光敏性均一且具高度重現性;

    8、無需光刻膠即可制作微結構;

    9、極佳的透光特征(同時表現在可見區和非可見區);

    10、生物兼容性:耐溫,化學穩定;

    11、環境友好:符合EU-RoHS 和 EU-REACH規定;

    12、光敏玻璃的切割和鍵合,基本可以沿用傳統的加工手段。

    光敏玻璃不同尺寸的方孔加工結果

    光敏玻璃不同尺寸的方孔加工結果

    光敏玻璃不同尺寸的圓孔加工結果

    光敏玻璃不同尺寸的圓孔加工結果

    采用光敏玻璃加工的復雜結構

    采用光敏玻璃加工的復雜結構

    光敏玻璃加工結構的表面粗糙度

    光敏玻璃加工結構的表面粗糙度

    可提供購買的型號

    名稱

    規格

    厚度


    名稱

    規格

    厚度

    光敏玻璃

    直徑6英寸

    0.5mm


    光敏玻璃

    方形93*93mm

    1.0mm

    光敏玻璃

    直徑6英寸

    0.7mm


    光敏玻璃

    方形93*93mm

    1.3mm

    光敏玻璃

    直徑6英寸

    1.0mm


    光敏玻璃

    方形130*130mm

    0.5mm

    光敏玻璃

    直徑6英寸

    1.3mm


    光敏玻璃

    方形130*130mm

    0.7mm

    光敏玻璃

    直徑8英寸

    0.5mm


    光敏玻璃

    方形130*130mm

    1.0mm

    光敏玻璃

    直徑8英寸

    0.7mm


    光敏玻璃

    方形130*130mm

    1.3mm

    光敏玻璃

    直徑8英寸

    1.0mm


    光敏玻璃

    方形150*150mm

    0.5mm

    光敏玻璃

    直徑8英寸

    1.3mm


    光敏玻璃

    方形150*150mm

    0.7mm

    光敏玻璃

    直徑12英寸

    0.5mm


    光敏玻璃

    方形150*150mm

    1.0mm

    光敏玻璃

    直徑12英寸

    0.7mm


    光敏玻璃

    方形150*150mm

    1.3mm

    光敏玻璃

    直徑12英寸

    1.0mm


    光敏玻璃

    方形175*175mm

    0.5mm

    光敏玻璃

    直徑12英寸

    1.3mm


    光敏玻璃

    方形175*175mm

    0.7mm

    光敏玻璃

    方形93*93mm

    0.5mm


    光敏玻璃

    方形175*175mm

    1.0mm

    光敏玻璃

    方形93*93mm

    0.7mm


    光敏玻璃

    方形175*175mm

    1.3mm

    以上為標準尺寸,可以定做非標尺寸,厚度0.5/0.7/1.0/1.3,外型可定制。






    標簽:   光敏玻璃 基片
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