術語“微反應器（microreactor）”最初是指一種用于催化劑評價的動力學研究的小型管式反應器，其直徑約為10mm。隨著本來用于電路集成的微制造技術逐漸發展和推廣于各種化學領域，前綴“micro”含義發生變化，專門修飾用微加工技術制造的化學系統，此時的“微反應器”是一種借助于特殊微加工技術以固體基質制造的可用于進行化學反應的三維結構元件。微反應器內流體的微通道尺寸在亞微米到亞毫米量級，所要求的化學反應在這些通道中進行。因此，微反應器又叫“微結構”或“微通道”反應器。

微反應器有多種分類方式，按操作模式可分為間歇式微反應器和連續微反應器，按反應物的相態可分為液液微反應器、氣液微反應器和氣液固三相微反應器等。從混合的方式來看，按照有無外界動力源可分為主動式混合器和被動式混合器2類。其中，被動式混合不需要外部能量的加入，混合過程完全通過擴散或對流完成；而主動式混合則要通過外場，如電場、溫度場、磁場和超聲波等強化作用實現。