旋涂儀勻膠機在日常使用過程是需要進行細致維護的，當然難免也會遇到一些故障問題，下面分享幾個常見的故障問題以及如何維護，包括基材污染、顆粒污染、化學污染。

1、基材受污染

受污染的基材可能不會完全破壞您的涂層，但您為什么要花時間和精力在從一開始就有缺陷的旋涂工藝上呢？完整的清潔過程應解決所有形式的污染。

2、顆粒污染

清潔后，在旋涂過程中可能會發生顆粒污染。

3、化學污染

簡單的觀察不能總能辨別出殘留在晶圓上影響旋涂工藝的化學污染物，但結果是顯而易見的。上圖顯示了由不可見的污染點造成的涂層中的空隙。

排氣 - 旋涂

排氣是紡紗加工操作中經常被忽視的部分。對于簡單的旋涂程序，排氣應該足以將任何化學蒸氣從操作員身上抽走。

排氣 - 蝕刻、顯影和清潔

在 Laurell EDC系統中進行水處理時，正確的排氣水平更為重要。所有可能的輸入、化學物質、用于沖洗的 DI 水、用于清理濕潤路徑和干燥基材的氣體都需要與足夠的排氣相平衡。這可以防止在處理室中產生過壓環境并迅速清除多余的水分。

清潔您的勻膠機旋涂儀

如果您希望獲得更好的旋涂效果，您的旋涂機應該一塵不染。應優化您的工藝以使用最少量的化學品，并且應在每次會議結束時清潔旋涂機。

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