旋涂?jī)x勻膠機(jī)在日常使用過(guò)程是需要進(jìn)行細(xì)致維護(hù)的，當(dāng)然難免也會(huì)遇到一些故障問(wèn)題，下面分享幾個(gè)常見(jiàn)的故障問(wèn)題以及如何維護(hù)，包括基材污染、顆粒污染、化學(xué)污染。

1、基材受污染

受污染的基材可能不會(huì)完全破壞您的涂層，但您為什么要花時(shí)間和精力在從一開(kāi)始就有缺陷的旋涂工藝上呢？完整的清潔過(guò)程應(yīng)解決所有形式的污染。

2、顆粒污染

清潔后，在旋涂過(guò)程中可能會(huì)發(fā)生顆粒污染。

3、化學(xué)污染

簡(jiǎn)單的觀察不能總能辨別出殘留在晶圓上影響旋涂工藝的化學(xué)污染物，但結(jié)果是顯而易見(jiàn)的。上圖顯示了由不可見(jiàn)的污染點(diǎn)造成的涂層中的空隙。

排氣 - 旋涂

排氣是紡紗加工操作中經(jīng)常被忽視的部分。對(duì)于簡(jiǎn)單的旋涂程序，排氣應(yīng)該足以將任何化學(xué)蒸氣從操作員身上抽走。

排氣 - 蝕刻、顯影和清潔

在 Laurell EDC系統(tǒng)中進(jìn)行水處理時(shí)，正確的排氣水平更為重要。所有可能的輸入、化學(xué)物質(zhì)、用于沖洗的 DI 水、用于清理濕潤(rùn)路徑和干燥基材的氣體都需要與足夠的排氣相平衡。這可以防止在處理室中產(chǎn)生過(guò)壓環(huán)境并迅速清除多余的水分。

清潔您的勻膠機(jī)旋涂?jī)x

如果您希望獲得更好的旋涂效果，您的旋涂機(jī)應(yīng)該一塵不染。應(yīng)優(yōu)化您的工藝以使用最少量的化學(xué)品，并且應(yīng)在每次會(huì)議結(jié)束時(shí)清潔旋涂機(jī)。

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