勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫SpinProcessor或者SpinCoater，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，綜上所述，他們?cè)矶际且粯拥模仍诟咚傩D(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

如何選購(gòu)合適的勻膠機(jī)針對(duì)目前勻膠機(jī)市場(chǎng)品牌眾多的情況，綜合多年從事勻膠機(jī)技術(shù)研究的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。為幫助廣大用戶提高辨別能力，提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。從其原理來(lái)說(shuō)，我們可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)：

1、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

真空泵一定要無(wú)油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档停瑫?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。

2、旋轉(zhuǎn)速度

轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。

3、材質(zhì)的選擇

對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的耐腐蝕性不太好，塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。目前有些品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。在選購(gòu)勻膠機(jī)的同時(shí)，一定要注意品牌和質(zhì)量，價(jià)格其次，市場(chǎng)上的勻膠機(jī)層次不齊，客戶在購(gòu)買時(shí)要慎重考慮。

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