勻膠機適用于半導體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學之用。

勻膠機簡介

勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

勻膠機使用注意事項 ：

（1）所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸 2-3mm 左右，如果用大吸附盤甩小 的樣片就會產生漏氣，同時造成膠被吸入抽氣室，導致氣路堵塞。

（2）如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進行清洗，否則吸附盤、光電盤、電 機軸會黏在一起，造成電機轉不動，拆卸亦很困難。 

（3）氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉產生飛片，故在啟動電機前須確認氣 泵的狀況良好及吸片確已吸住。 

（4）本機一旦出現故障或異常情況請立即切斷電源，參考上述常見故障排除， 若自己不能解決，請及時撥打汶顥股份公司電話。

勻膠機的維護清洗：

屬下列情況之一時，需要對抽氣室進行清洗

1.正常使用半個月的；

2.膠被吸入抽氣室的； 

3.電機轉速不穩定或被卡住轉不動的。

汶顥股份是勻膠機生產廠家，歡迎來電咨詢勻膠機價格。