光刻膠主要由樹脂（Resin）、感光劑（Sensitizer）、溶劑（Solvent）及添加 劑（Additive）等不同的材料按一定比例配制而成。其中樹脂是粘合劑（  Binder），感光劑是一種光活性（Photoactivity）極強的化合物，它在光刻膠內(nèi)的 含量與樹脂相當，兩者同時溶解在溶劑中，以液態(tài)形式保存，以便于使用。

1.光刻膠的分類    

⑴ 負膠

 1. 特點

  ·曝光部分會產(chǎn)生交聯(lián)（Cross Linking），使其結(jié)構(gòu)加強而不溶于現(xiàn)像液；

·而未曝光部分溶于現(xiàn)像液；  

·經(jīng)曝光、現(xiàn)像時，會有膨潤現(xiàn)像，導致圖形轉(zhuǎn)移不良，故負膠一般不用于特征尺寸小于3um的制作中。

2.分類（按感光性樹脂的化學結(jié)構(gòu)分類）

常用的負膠主要有以下兩類：

·聚肉桂酸酯類光刻膠    

這類光刻膠的特點，是在感光性樹脂分子的側(cè)鏈上帶有肉桂酸基感光性官能團。如聚乙烯醇肉桂酸酯（KPR膠）、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯（OSR膠）等。  

·聚烴類—雙疊氮類光刻膠    

這種光刻膠又叫環(huán)化橡膠系光刻膠。它由聚烴類樹脂（主要是環(huán)化橡膠）、  雙疊氮型交聯(lián)劑、增感劑和溶劑配制而成。  

3.感光機理  

① 肉桂酸酯類光刻膠  

KPR膠和OSR膠的感光性樹脂分子結(jié)構(gòu)如下：

在紫外線作用下，它們側(cè)鏈上的肉桂酰官能團里的炭－炭雙鍵發(fā)生二聚反應(yīng)，引起聚合物分子間的交聯(lián)，轉(zhuǎn)變?yōu)椴蝗苡诂F(xiàn)像液的物質(zhì)。KPR膠的光化學交聯(lián)反應(yīng)式如下：

這類光刻膠中的高分子聚合物，不僅能在紫外線作用下發(fā)生交聯(lián)，而且在一定溫度以上也會發(fā)生交聯(lián)，從而在現(xiàn)像時留下底膜，所以要嚴格控制前烘的溫度與時間。

② 聚烴類—雙疊氮類光刻膠  

這類光刻膠的光化學反應(yīng)機理與前者不同，在紫外線作用下，環(huán)化橡膠  分子中雙鍵本身不能交聯(lián)，必須有作為交聯(lián)劑的雙疊氮化合物參加才能發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)。交聯(lián)劑在紫外線作用下產(chǎn)生雙自由基，它和聚烴類樹脂相作用，在聚合物分子之間形成橋鍵，變?yōu)槿S結(jié)構(gòu)的不溶性物質(zhì)。

⑵ 正膠

1. 特點  

·本身難溶于現(xiàn)像液，曝光后會離解成一種溶于現(xiàn)像液的結(jié)構(gòu)；

·解像度高，耐Dry Etch性強等。

2. 分類（按感光性樹脂的化學結(jié)構(gòu)分類）

目前正膠常用的主要指鄰－疊氮醌類光刻膠。

3. 正膠成分

4. 感光機理

鄰－疊氮醌化合物經(jīng)紫外線照射后，分解釋放出N2，同時分子結(jié)構(gòu)進行重  排，產(chǎn)生環(huán)收縮作用，形成相應(yīng)的五元環(huán)烯酮化合物，在經(jīng)水解生成溶于現(xiàn)像液的物質(zhì)。

4.1光刻膠的使用性能和光刻膠理化性能的關(guān)系

4.2理想光刻膠的要求

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