純硅模具

以單晶硅為材質，利用高能束轟擊襯底得到需要的高深寬比結構，該方法可以彌補光刻膠在高深寬方面的不足之處。

1.微納加工——純硅模具工藝流程

（a）硅片的清洗、烘干

（b）熱生長氧化層

（c）涂光刻膠

（d）光刻

（e）顯影

（f）去除氧化層

（g）ICP深刻蝕

（h）去除光刻膠

2.純硅模具加工說明

2.1一般采用正性光刻膠

正膠的優點：易去膠。

2.2刻蝕的流道截面不是標準的矩形

2.3刻蝕面較粗糙，刻蝕深度越深粗糙度越大

3.硅片模具

蘇州汶顥微流控技術股份有限公司（www.dyxinhan.com）提供紙芯片、PDMS芯片、PMMA芯片、硅芯片、石英芯片、玻璃芯片、液滴芯片、硬質塑料芯片等所有材質微流控芯片的設計、加工、量產等技術服務，芯片產品涵蓋集成式通用醫療診斷芯片、集成式通用環境保護分析監測芯片、集成式通用食品安全分析檢測芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數十個品種，以及各類科研類芯片，并在生物芯片和化學芯片領域一直保持技術和研發的領先地位。

汶顥股份提供微流控芯片應用相關的組件、配件和耗材、微流控芯片加工設備、醫療診斷類分析檢測儀器、環境保護類分析檢測儀器、食品安全分析檢測儀器、微反應器、微液滴形成設備、以及各類微流控芯片的量產設備。

汶顥股份提供芯片相關實驗室儀器設備和配件耗材相關周邊產品，提供微流控芯片實驗室整體組建服務方案及微流控芯片技術培訓服務。