純硅模具

以單晶硅為材質(zhì)，利用高能束轟擊襯底得到需要的高深寬比結(jié)構(gòu)，該方法可以彌補(bǔ)光刻膠在高深寬方面的不足之處。

1.微納加工——純硅模具工藝流程

（a）硅片的清洗、烘干

（b）熱生長(zhǎng)氧化層

（c）涂光刻膠

（d）光刻

（e）顯影

（f）去除氧化層

（g）ICP深刻蝕

（h）去除光刻膠

2.純硅模具加工說明

2.1一般采用正性光刻膠

正膠的優(yōu)點(diǎn)：易去膠。

2.2刻蝕的流道截面不是標(biāo)準(zhǔn)的矩形

2.3刻蝕面較粗糙，刻蝕深度越深粗糙度越大

3.硅片模具

蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司（www.dyxinhan.com）提供紙芯片、PDMS芯片、PMMA芯片、硅芯片、石英芯片、玻璃芯片、液滴芯片、硬質(zhì)塑料芯片等所有材質(zhì)微流控芯片的設(shè)計(jì)、加工、量產(chǎn)等技術(shù)服務(wù)，芯片產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護(hù)分析監(jiān)測(cè)芯片、集成式通用食品安全分析檢測(cè)芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個(gè)品種，以及各類科研類芯片，并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位。

汶顥股份提供微流控芯片應(yīng)用相關(guān)的組件、配件和耗材、微流控芯片加工設(shè)備、醫(yī)療診斷類分析檢測(cè)儀器、環(huán)境保護(hù)類分析檢測(cè)儀器、食品安全分析檢測(cè)儀器、微反應(yīng)器、微液滴形成設(shè)備、以及各類微流控芯片的量產(chǎn)設(shè)備。

汶顥股份提供芯片相關(guān)實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備和配件耗材相關(guān)周邊產(chǎn)品，提供微流控芯片實(shí)驗(yàn)室整體組建服務(wù)方案及微流控芯片技術(shù)培訓(xùn)服務(wù)。